ยุครัตนโกสินทร์
ในช่วงก่อนหน้านั้น วัดกลายเป็นวัดร้างไปชั่วระยะหนึ่งเนื่องจากกษัตริย์ในยุคนั้น ๆ มัวยุ่งอยู่กับการทำศึกกับพม่า และล้านนาไทยก็เคยตกอยู่ภายใต้อำนาจของพวกพม่าและมอญ ร่วม 200 กว่าปี

จวบจนกระทั่งปี พ.ศ. 2317 พระเจ้ากาวิละ ได้ยึดอาณาจักรล้านนาไทยกลับคืนมาจากพม่า และในปี พ.ศ. 2348 พระเจ้ากาวิละ ได้ทรงสถาปนา พระอนุชาของพระองค์ทั้ง 2 คือ คำฟั่นและบุญมา ขึ้นเป็นพระยาคำฟั่น ครองเมืองลำพูนเป็นองค์แรก ส่วนองค์เล็กเป็นเจ้าบุญมาทำหน้าที่เป็นพระอุปราช และเจ้าทั้งสองได้ช่วยกันบูรณะและพัฒนาวัดพระธาตุหริภุญชัยให้เจริญและมั่นคง

องค์พระบรมธาตุหริภุญชัยมีรั้วทองเหลืองล้อมรอบ ๒ ชั้นทั้งสี่ด้าน รั้วดั้งเดิมนั้น พระเมืองแก้วโปรดให้นำมาจากเมืองเชียงแสน ต่อมาในปี พ.ศ.๒๓๒๙ พระเจ้ากาวิละได้มา บูรณะใหม่พร้อมกับให้ สร้างฉัตรหลวงตั้งไว้ที่มุมทั้งสี่ของรั้วที่ล้อมองค์พระธาตุ

ในปี พ.ศ.๒๓๓๔ พระเจ้ากาวิละได้พร้อมใจกับน้องของท่านทุกคนได้ร่วมกันสร้าง หอยอประจำทิศทั้ง ๔ ด้าน และได้หล่อพระพุทธรูปองค์หนึ่งเพื่อประดิษฐานไว้ในวิหาร ด้านเหนือพระธาตุเป็นพระ พุทธรูปปางอุ้มบาตรให้ชื่อว่า พระละโว้

ในปี ๒๔๗๒ เจ้าจักรคำขจรศักดิ์ เจ้าผู้ครองนครคนที่ ๑๐ ได้อารธนา ครูบาธรรมชัย วัดประตูป่า มาทำการรื้อทองจังโกที่หุ้มองค์พระธาตุมาแต่เดิมออก และทำการบูรณะใหม่โดยการ หุ้มแผ่นทองเหลือง องค์พระธาตุตลอดทั้งองค์ แล้วเสร็จสมบูรณ์ในปี ๒๕๐๐
ในปี ๒๔๘๑ ได้มีการว่าจ้างช่างทองมาทำการหลอมไล่เอาทองคำแยกออกจากแผ่นทองจังโก เพื่อนำออกขายนำเงินมาเก็บเป็น สมบัติของพระธาตุ เงินส่วนหนึ่งนั้นได้มีการนำไปซื้อที่ดินบริเวณห้องแถวตลาดสด เก่ากลางเมืองลำพูน เพื่อใช้สำหรับเก็บผล ประโยชน์ สำหรับมาบำรุงพระธาตุ
ในปี พ.ศ. ๒๔๕๘ เกิดพายุกระหน่ำอย่างแรงทำให้วิหารหลวงหลังนี้พังทลายลงมาทั้งหลัง คงเหลือเพียงพระพุทธรูปที่ประดิษฐานบนแท่นแก้วองค์ที่อยู่ด้านเหนือเพียงองค์เดียวเท่านั้นที่คงสภาพที่สมบูรณ์ จึงมีการก่อสร้างพระวิหารหลังใหม่ขึ้นในปี ๒๔๖๐ แล้วเสร็จในปี ๒๔๗๒
ท่านครูบาศรีวิชัยได้สร้างศาสนสมบัติไว้กับพุทธศาสนาในที่ต่าง ๆ ทั่วแคว้นแดนลานนาไทย จนนับไม่ถ้วนเฉพาะที่วัดพระธาตุหริภุญชัยแห่งนี้ท่านได้สร้างวิหารไว้ถึง 5 หลังด้วยกัน คือ
1.วิหารอัฎฐารส
2.วิหารพระพุทธ
3.วิหารพระเจ้าละโว้
4.วิหารพระเจ้าทันใจ
5.วิหารพระมหากัจจายน์

ท่านครูบาฯ ได้มรณภาพไปได้เมื่อวันที่ 20 กุมภาพันธ์ พ.ศ 2481 รวมอายุได้ 60 ปี อัฐิของท่านครูบา ฯ ยังบรรจุไว้ในสถูปเจดีย์ ที่วัดจามเทวี

ขอขอบคุณhttp://www.hariphunchaitemple.org/