ยุครัตนโกสินทร์
ในช่วงก่อนหน้านั้น วัดกลายเป็นวัดร้างไปชั่วระยะหนึ่งเนื่องจากกษัตริย์ในยุคนั้น ๆ มัวยุ่งอยู่กับการทำศึกกับพม่า และล้านนาไทยก็เคยตกอยู่ภายใต้อำนาจของพวกพม่าและมอญ ร่วม 200 กว่าปี
จวบจนกระทั่งปี พ.ศ. 2317 พระเจ้ากาวิละ ได้ยึดอาณาจักรล้านนาไทยกลับคืนมาจากพม่า และในปี พ.ศ. 2348 พระเจ้ากาวิละ ได้ทรงสถาปนา พระอนุชาของพระองค์ทั้ง 2 คือ คำฟั่นและบุญมา ขึ้นเป็นพระยาคำฟั่น ครองเมืองลำพูนเป็นองค์แรก ส่วนองค์เล็กเป็นเจ้าบุญมาทำหน้าที่เป็นพระอุปราช และเจ้าทั้งสองได้ช่วยกันบูรณะและพัฒนาวัดพระธาตุหริภุญชัยให้เจริญและมั่นคง
องค์พระบรมธาตุหริภุญชัยมีรั้วทองเหลืองล้อมรอบ ๒ ชั้นทั้งสี่ด้าน รั้วดั้งเดิมนั้น พระเมืองแก้วโปรดให้นำมาจากเมืองเชียงแสน ต่อมาในปี พ.ศ.๒๓๒๙ พระเจ้ากาวิละได้มา บูรณะใหม่พร้อมกับให้ สร้างฉัตรหลวงตั้งไว้ที่มุมทั้งสี่ของรั้วที่ล้อมองค์พระธาตุ
ในปี พ.ศ.๒๓๓๔ พระเจ้ากาวิละได้พร้อมใจกับน้องของท่านทุกคนได้ร่วมกันสร้าง หอยอประจำทิศทั้ง ๔ ด้าน และได้หล่อพระพุทธรูปองค์หนึ่งเพื่อประดิษฐานไว้ในวิหาร ด้านเหนือพระธาตุเป็นพระ พุทธรูปปางอุ้มบาตรให้ชื่อว่า พระละโว้